吉時(shí)利2400數(shù)字源表作為精密的電流測(cè)量?jī)x器，在微電子、半導(dǎo)體測(cè)試及材料研究等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用。其高精度、低噪聲特性使其成為測(cè)量pA級(jí)低微電流的理想工具。本文將介紹使用2400源表進(jìn)行低微電流測(cè)量的關(guān)鍵步驟及注意事項(xiàng)。

一、測(cè)量前的準(zhǔn)備與參數(shù)設(shè)置

1. 選擇合適的電流范圍

根據(jù)預(yù)估電流值設(shè)置量程，2400源表支持從±10pA至±1A的寬范圍測(cè)量。對(duì)于低微電流（如nA-pA級(jí)），需選擇對(duì)應(yīng)的最小量程以提高分辨率。

啟用“自動(dòng)量程”模式可避免手動(dòng)切換量程的誤差，但需注意測(cè)量穩(wěn)定性。

2. 配置觸發(fā)與采樣參數(shù)

設(shè)置觸發(fā)方式為“外部觸發(fā)”或“自動(dòng)觸發(fā)”，確保在信號(hào)穩(wěn)定時(shí)采集數(shù)據(jù)。

降低采樣率至適當(dāng)值（如100Hz以下），減少噪聲干擾，提升測(cè)量精度。

3. 開(kāi)啟接觸檢查功能

2400源表具備高速接觸檢測(cè)功能（350μs內(nèi)完成驗(yàn)證），可識(shí)別測(cè)試線接觸不良或開(kāi)路，避免因接線問(wèn)題導(dǎo)致數(shù)據(jù)錯(cuò)誤。

二、連接與測(cè)量步驟

1. 電路連接

采用四線制接線法（Kelvin連接）消除導(dǎo)線電阻影響。將待測(cè)器件（DUT）的正負(fù)極分別連接至源表的“High Sense”和“Low Sense”端，而非直接連接輸出端。

使用屏蔽測(cè)試線并接地，減少電磁干擾。

2. 設(shè)置保護(hù)參數(shù)

為防止DUT或儀器過(guò)載，需設(shè)置“電流箝位值”（Compliance）。例如，測(cè)量時(shí)設(shè)定高于預(yù)期電流值的箝位值，若電流超過(guò)設(shè)定值則儀器自動(dòng)限制輸出，保護(hù)設(shè)備安全。

3. 啟動(dòng)測(cè)量

選擇“電流測(cè)量”模式，啟動(dòng)源表輸出。觀察實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，確認(rèn)電流值穩(wěn)定后記錄結(jié)果。

如需連續(xù)測(cè)量，可使用“掃描”功能記錄多組數(shù)據(jù)，分析平均值或波動(dòng)情況。

三、優(yōu)化與注意事項(xiàng)

1. 環(huán)境控制

避免在強(qiáng)磁場(chǎng)、高溫或潮濕環(huán)境中操作，建議使用恒溫實(shí)驗(yàn)室或加裝屏蔽箱。

關(guān)閉無(wú)關(guān)電子設(shè)備，減少電磁干擾。

2. 降低噪聲干擾

使用低噪聲測(cè)試線，縮短連接線長(zhǎng)度。

在軟件中啟用“數(shù)字濾波”功能，平滑數(shù)據(jù)曲線。

3. 數(shù)據(jù)處理

通過(guò)多次測(cè)量取平均值，計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)差以評(píng)估數(shù)據(jù)重復(fù)性。

利用源表的“比較器”功能進(jìn)行Pass/Fail判斷，簡(jiǎn)化測(cè)試流程。

四、典型應(yīng)用案例

二極管漏電流測(cè)試：設(shè)置反向偏置電壓，通過(guò)2400源表監(jiān)測(cè)pA級(jí)漏電流，評(píng)估器件性能。

傳感器信號(hào)采集：連接低功耗傳感器，測(cè)量其微弱電流輸出，分析靈敏度與噪聲比。

通過(guò)合理配置參數(shù)、優(yōu)化電路連接及控制環(huán)境，吉時(shí)利2400源表可實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的低微電流測(cè)量，為科研與工業(yè)測(cè)試提供可靠數(shù)據(jù)支持。操作人員需嚴(yán)格遵循規(guī)范流程，并結(jié)合實(shí)際需求調(diào)整設(shè)置，方能充分發(fā)揮儀器性能。