電子薄膜材料表面電阻率測試方案
概述：
某一維線性尺度遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于它的其它二維尺度的材料成為薄膜材料，理論上薄膜材料厚度介于單原子到幾毫米，但由于厚度小于100nm的薄膜已經(jīng)被稱為二維材料，因此薄膜材料通常指厚度介于微米至毫米的薄金屬或有機(jī)物層。
薄膜材料可以分為非電子薄膜材料和電子薄膜材料，非電子薄膜材料不需要對其電學(xué)特性進(jìn)行分析，不是本方案針對的對象，電子薄膜又可分為導(dǎo)電薄膜，半導(dǎo)體薄膜，介質(zhì)薄膜，電阻薄膜，磁性薄膜，壓電薄膜，光電薄膜，熱電薄膜，超導(dǎo)薄膜等，表面電阻率是電子薄膜電學(xué)性質(zhì)的重要參數(shù)。
電子薄膜材料表面電阻率測試
表面電阻率測試常用方法是四探針法與范德堡法，但對電子薄膜材料，范德堡法很少應(yīng)用。多數(shù)情況下，電子薄膜材料表面電阻率測試對測試儀器的要求沒有二維材料/石墨烯材料高，用源表加探針臺即可手動或編寫軟件自動完成測試。
電子薄膜材料電阻率測試面臨的挑戰(zhàn)
電子薄膜種類多，電阻率特性不同
需要選擇適合的SMU進(jìn)行測試
被測樣品形狀復(fù)雜，需選擇適當(dāng)?shù)男拚齾?shù)
厚度修正系數(shù)對測試結(jié)果的影響F(W/S)
圓片直徑修正系數(shù)對測試結(jié)果的影響
溫度修正系數(shù)對測試結(jié)果的影響
環(huán)境對測試結(jié)果有影響
利用電流換向測試消除熱電勢誤差
利用多次平均提高測試精度
需要考慮測試成本
泰克吉時利電子薄膜材料測試方案
1.通用配置
a.2450/2460/2461
b.四探針臺（間距1mm）
c.測試軟件（第三方）
2.高阻電子薄膜材料測試方案
a.6221/2182A+6514*2+DMM6500
b.第三方探針臺
c.手動或軟件編程
方案優(yōu)勢
1.不同配置滿足不同電子薄膜材料電阻率測試需求
2.高精度SMU,即可手動測試，也可以編程自動測試
3.高性價比
安泰測試作為泰克吉時利長期合作伙伴，專業(yè)提供設(shè)備選型和測試方案，且為西安多家企業(yè)和院校提供吉時利源表現(xiàn)場演示，并獲得客戶的高度認(rèn)可，如果您想了解更多測試應(yīng)用方案，歡迎訪問安泰測試網(wǎng)www.sy263.com
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