吉時(shí)利源表在電子薄膜材料的應(yīng)用方案
概述：
某一維線性尺度遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于它的其他二維尺度的材料成為薄膜材料，理論上薄膜材料厚度介于單原子到幾毫米，但由于厚度小于100nm的薄膜已經(jīng)被稱為二維材料，因此薄膜材料通常指厚度介于微米到毫米的薄金屬或有機(jī)物層。
薄膜材料可以分為非電子薄膜材料和電子薄膜材料，非電子薄膜材料需要對(duì)其電學(xué)特性進(jìn)行分析，不是本方案針對(duì)的對(duì)象。電子薄膜又可以分為導(dǎo)電薄膜，介質(zhì)薄膜，半導(dǎo)體薄膜，電阻薄膜，磁性薄膜，壓電薄膜，光電薄膜，熱電薄膜，超導(dǎo)薄膜等，表面電阻率是電子薄膜電學(xué)性質(zhì)的重要參數(shù)。
電子薄膜材料表面電阻測(cè)試：
表面電阻率測(cè)試常用方法是四探針?lè)ê头兜卤しǎ珜?duì)電子薄膜材料，范德堡法很少應(yīng)用。多數(shù)情況下，電子薄膜材料電阻率測(cè)試對(duì)測(cè)試儀器的要求沒(méi)有二維材料/石墨烯材料高，用源表加探針臺(tái)即可手動(dòng)或編寫(xiě)軟件自動(dòng)完成測(cè)試。
電子薄膜材料電阻率測(cè)試面臨的挑戰(zhàn)：
●電子薄膜種類多，電阻率特性不同
需選擇適合的SMU進(jìn)行測(cè)試
●被測(cè)樣品形狀復(fù)雜，需選擇適當(dāng)?shù)男拚齾?shù)
厚度修正系數(shù)對(duì)測(cè)試結(jié)果的營(yíng)銷F（W/S）
原片直徑修正系數(shù)對(duì)測(cè)試結(jié)果的營(yíng)銷
溫度修正系數(shù)對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響
●環(huán)境對(duì)測(cè)試結(jié)果有影響
利用電流換向測(cè)試消除熱電勢(shì)誤差
●利用多次平均提高測(cè)試精度
需考慮測(cè)試成本
吉時(shí)利電子薄膜材料測(cè)試方案：
1、 通用配置
a.吉時(shí)利源表2450/2460/2461
b.四探針臺(tái)（間距1mm）
c.測(cè)試軟件（安泰測(cè)試系統(tǒng)集成可開(kāi)發(fā)）
2、高阻電子薄膜材料測(cè)試方案
a.6221/2182A+6514X2+2000DMM
b.第三方探針臺(tái)
c.手動(dòng)或軟件編程
方案優(yōu)勢(shì)：
1、 不同配置滿足不同電子薄膜材料電阻率測(cè)試需求
2、 高精度源表，即可手動(dòng)測(cè)試，也可以編程自動(dòng)測(cè)試
3、 高性價(jià)比
吉時(shí)利源表作為電學(xué)測(cè)量的常用儀器，在高校和研究所的相關(guān)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)幾乎都能看到，源表集多表合一、配上專業(yè)軟件可以實(shí)現(xiàn)各種定制測(cè)量，使用非常廣泛。
安泰測(cè)試作為泰克吉時(shí)利長(zhǎng)期合作伙伴，專業(yè)提供設(shè)備選型和測(cè)試方案的提供，為西安多家企業(yè)和院校提供吉時(shí)利源表現(xiàn)場(chǎng)演示，并獲得客戶的高度認(rèn)可，如果您想了解吉時(shí)利源表更多應(yīng)用方案，歡迎訪問(wèn)安泰測(cè)試網(wǎng)www.sy263.com。
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